一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)器用高純納米鎢粉的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911178951.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN111014723A 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號(hào) CN111014723A 申請公布日 2020-04-17
分類號(hào) B22F9/26 分類 鑄造；粉末冶金;
發(fā)明人 曲鵬;丁照崇;李勇軍;滕海濤;龐欣;張延賓;曹曉萌;李利利;馮昭偉;顧曉倩 申請（專利權(quán)）人 有研億金新材料（山東）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 有研億金新材料有限公司
地址 102200 北京市昌平區(qū)超前路33號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了屬于鎢粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域的一種半導(dǎo)體存儲(chǔ)器用高純納米鎢粉的制備方法。該方法包括以下步驟：(1)向純化的鎢酸銨溶液中加入鹽酸，得到鎢酸漿液；(2)以氯化鈀為催化劑，向步驟(1)所得鎢酸漿液中通入氫氣進(jìn)行液相氫還原反應(yīng)，制得高純納米鎢粉。利用本發(fā)明方法制備的高純納米鎢粉，有利于高純鎢靶的致密化燒結(jié)成型，同時(shí)可以顯著降低其燒結(jié)溫度，從而獲得組織細(xì)小均勻、晶粒取向隨機(jī)的高純鎢靶材；所得高純納米鎢粉可以滿足半導(dǎo)體存儲(chǔ)器行業(yè)的使用要求。