短流程高效率的高純銅及銅合金濺射靶材制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111401765.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114196926A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114196926A 申請公布日 2022-03-18
分類號 C23C14/35（2006.01）I;C21D9/00（2006.01）I;C22C1/02（2006.01）I;C22C9/01（2006.01）I;C22C9/05（2006.01）I;C22F1/08（2006.01）I;B23P15/00（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王宇;萬小勇;齊琦琦;羅俊鋒;何金江;康燕茹;劉楠;蔣媛媛;王煥煥;滕海濤;李勇軍 申請（專利權(quán)）人 有研億金新材料（山東）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳波
地址 102200 北京市昌平區(qū)超前路33號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種短流程高效率高純銅及銅合金濺射靶材制備方法，其包括以下步驟：第一步，高純方形鑄錠制備；第二步，熱軋厚板制備；第三步，等溫退火熱處理；第四步，靶材機(jī)加工；第五步，后處理。本發(fā)明采用方形鑄錠，將傳統(tǒng)濺射方法中的多步環(huán)節(jié)進(jìn)行歸一化處理，即對方形鑄錠進(jìn)行整體軋制變形加工和熱處理，獲得大尺寸的板坯，然后根據(jù)靶材成品下料需求在板坯上直接進(jìn)行切割。相對于傳統(tǒng)制備方法，本發(fā)明所提供的短流程高效率方法可顯著提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本，同時(shí)有利于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，適合大批量生產(chǎn)。