短流程高效率的高純銅及銅合金濺射靶材制備方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202111401765.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN114196926A | 公開(公告)日 | 2022-03-18 |
申請公布號 | CN114196926A | 申請公布日 | 2022-03-18 |
分類號 | C23C14/35(2006.01)I;C21D9/00(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C22C9/01(2006.01)I;C22C9/05(2006.01)I;C22F1/08(2006.01)I;B23P15/00(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 王宇;萬小勇;齊琦琦;羅俊鋒;何金江;康燕茹;劉楠;蔣媛媛;王煥煥;滕海濤;李勇軍 | 申請(專利權(quán))人 | 有研億金新材料(山東)有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 陳波 |
地址 | 102200 北京市昌平區(qū)超前路33號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提出一種短流程高效率高純銅及銅合金濺射靶材制備方法,其包括以下步驟:第一步,高純方形鑄錠制備;第二步,熱軋厚板制備;第三步,等溫退火熱處理;第四步,靶材機(jī)加工;第五步,后處理。本發(fā)明采用方形鑄錠,將傳統(tǒng)濺射方法中的多步環(huán)節(jié)進(jìn)行歸一化處理,即對方形鑄錠進(jìn)行整體軋制變形加工和熱處理,獲得大尺寸的板坯,然后根據(jù)靶材成品下料需求在板坯上直接進(jìn)行切割。相對于傳統(tǒng)制備方法,本發(fā)明所提供的短流程高效率方法可顯著提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本,同時(shí)有利于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,適合大批量生產(chǎn)。 |
