光刻機(jī)外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)及監(jiān)測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110566978.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113406864A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號(hào) CN113406864A 申請公布日 2021-09-17
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 楊青;韓雍;謝華;陳欣健;高姝懌 申請（專利權(quán)）人 上海順灝新材料科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海灣谷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 肖進(jìn)
地址 200331上海市普陀區(qū)真陳路200號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光刻機(jī)外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)，包括：監(jiān)控PLC、網(wǎng)絡(luò)連接裝置、車間空調(diào)系統(tǒng)、空壓機(jī)、UPS、通訊模塊、觸摸屏和遠(yuǎn)程終端，所述監(jiān)控PLC采集所述車間空調(diào)系統(tǒng)、空壓機(jī)和UPS的運(yùn)行參數(shù)，監(jiān)測運(yùn)行狀態(tài)；所述監(jiān)控PLC、所述通訊模塊和所述觸摸屏通過所述網(wǎng)絡(luò)連接裝置進(jìn)行通信；所述遠(yuǎn)程終端通過互聯(lián)網(wǎng)與所述通訊模塊進(jìn)行通信。本發(fā)明對各個(gè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)采集和監(jiān)控，并實(shí)時(shí)顯示。本發(fā)明還公開了光刻機(jī)外圍設(shè)備集成監(jiān)測系統(tǒng)的監(jiān)測方法。