一種用于光刻機凈化車間的凈化裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123271504.1 申請日 -
公開（公告）號 CN216901324U 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN216901324U 申請公布日 2022-07-05
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 蔣傳亞;姚梁;楊青;韓雍;謝華;王東升 申請（專利權(quán)）人 上海順灝新材料科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海灣谷知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 200331上海市普陀區(qū)真陳路200號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于光刻機凈化車間的凈化裝置，連接光刻機，包括：無油空壓機；設置在所述無油空壓機后面的第一儲氣罐；設置在所述第一儲氣罐后面，用于干燥壓縮空氣的冷干機；設置在所述冷干機后面，用于去除壓縮空氣中水分的吸干機；設置在所述吸干機后面，用于對壓縮空氣進行熱交換的熱交換器；設置在所述熱交換器后面，用于儲存熱交換后的壓縮空氣的第二儲氣罐；連通所述第二儲氣罐和光刻機二合一管路。本實用新型能夠有效解決凈化車間內(nèi)不可見微粒、極小灰塵凈化的問題。