一種增強(qiáng)水泵葉輪耐磨性的涂層材料及涂鍍方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110759043.8 申請日 -
公開(公告)號 CN113463046A 公開(公告)日 2021-10-01
申請公布號 CN113463046A 申請公布日 2021-10-01
分類號 C23C14/34(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 呂智云;原魁 申請(專利權(quán))人 大連德泰控股有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東有知貓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 崔新芬
地址 116600遼寧省大連市大連經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)遼河西路128號工業(yè)團(tuán)地管理中心北四樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了:一種增強(qiáng)水泵葉輪耐磨性的涂層材料及涂鍍方法,用真空泵將腔體內(nèi)抽至真空度3?6×10?3pa,將偏壓調(diào)至175?225V,在純氬氣的條件下對樣品進(jìn)行濺射清洗,此時的腔內(nèi)的工作氣壓為4.5?5.5Pa,打開濺射電源,將功率調(diào)至650?750W,在純氬氣的條件下對Ti靶材濺射清洗,之后打開樣品擋板,開始沉積Ti的過渡層,隨后關(guān)閉樣品擋板,打開節(jié)流閥,將腔內(nèi)氬氣排出,此時的腔內(nèi)的工作氣壓為0.45?0.55Pa。將功率調(diào)至900W,對樣品濺射清洗,等到鍍膜結(jié)束后,關(guān)閉濺射電源,關(guān)閉靶材擋板,在真空條件下冷卻樣品至40℃以下,然后關(guān)機(jī)放氣,取出樣品,能夠有效的提高葉輪表面的摩擦力,同時防止減小設(shè)備的耐損度,防止設(shè)備老化,提高使用壽命。