一種用于碳化硅CMP的拋光組合物及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011059655.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112029417A 公開（公告）日 2020-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112029417A 申請(qǐng)公布日 2020-12-04
分類號(hào) C09G1/02 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 宋偉紅;蔡慶東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州時(shí)創(chuàng)新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州曼博專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 常州時(shí)創(chuàng)新材料有限公司
地址 213300 江蘇省常州市溧陽市昆侖街道吳潭渡路8號(hào)2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于碳化硅CMP的拋光組合物的制備方法，通過如下方法制備：將分散劑、促進(jìn)劑、pH緩沖劑、潤(rùn)濕劑、絡(luò)合劑加入水中，攪拌均勻后加入磨料，再加入消泡劑，再用pH調(diào)節(jié)劑調(diào)整溶液的pH值，再陳化。采用本發(fā)明拋光液對(duì)碳化硅晶片進(jìn)行CMP，可以具有較好的去除速率和表面光潔度，粗糙度可達(dá)到0.2nm以下。本發(fā)明拋光組合物是良好的碳化硅晶片拋光劑，可替代硬質(zhì)磨料組合物，改善粗糙度和光潔度，且綠色環(huán)保。