一種晶圓測(cè)試夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121515537.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215415527U 公開(kāi)（公告）日 2022-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN215415527U 申請(qǐng)公布日 2022-01-04
分類號(hào) G01R1/04（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 丁兆達(dá);高強(qiáng);歷德義 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江季豐電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海申新律師事務(wù)所 代理人 吳軼淳
地址 201100上海市閔行區(qū)友東路258-288號(hào)2幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種晶圓測(cè)試夾具，涉及晶圓測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，包括：一箱體，箱體內(nèi)橫向設(shè)有至少一托盤(pán)，各托盤(pán)表面設(shè)有至少一晶圓放置層，箱體的垂直于托盤(pán)且相對(duì)設(shè)置的至少一組側(cè)面之間設(shè)有通風(fēng)通道。有益效果是本夾具采用質(zhì)地偏軟的鐵氟龍材料，可以有效保護(hù)晶圓，且利用通風(fēng)通道可以讓風(fēng)均勻吹過(guò)晶圓表面，使晶圓表面溫度均勻、受力均勻。