用于制備透明導(dǎo)電薄膜的鋅鋁氧化物靶材

基本信息

申請?zhí)?/td> CN00129797.X 申請日 -
公開（公告）號 CN1142554C 公開（公告）日 2004-03-17
申請公布號 CN1142554C 申請公布日 2004-03-17
分類號 H01B1/08;C04B35/01 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙大慶;莊大明;方玲;梁展鴻;俞錦方;沈淦榮;楊偉方 申請（專利權(quán)）人 金洲集團(tuán)有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華專利事務(wù)所 代理人 廖元秋
地址 100084北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光電材料技術(shù)領(lǐng)域，涉及用于制備透明導(dǎo)電薄膜的鋅鋁氧化物靶材。其特征在于，用純度不低于99.9％的氧化鋅粉末與純度不低于99.9％的氧化鋁粉末或純鋁粉末相互混合均勻，燒結(jié)成密度不低于理論密度的94％的塊體，用該靶材制備透明導(dǎo)電薄膜的電阻率達(dá)10-4Ω.cm量級。本發(fā)明具有成分簡單、經(jīng)濟(jì)、膜基附著力強，使用壽命長、性能好，鍍膜不起斑點、耐蝕耐磨、色澤漂亮等特點。用于鍍膜制造成本低廉，無毒，易于實現(xiàn)摻雜，且ZAO薄膜在等離子體中穩(wěn)定性好，是ITO的替代產(chǎn)品，尤其是在太陽能電池透明電極領(lǐng)域。