用于制備透明導(dǎo)電薄膜的鋅鋁氧化物靶材

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN00129797.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN1289128A 公開（公告）日 2001-03-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN1289128A 申請(qǐng)公布日 2001-03-28
分類號(hào) H01B1/08;C04B35/01 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙大慶;莊大明;方玲;梁展鴻;俞錦方;沈淦榮;楊偉方 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 金洲集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 清華大學(xué)專利事務(wù)所 代理人 廖元秋
地址 100084北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于光電材料技術(shù)領(lǐng)域,其特征在于,用純度不低于99.9%的氧化鋅粉末與純度不低于99.9%的氧化鋁粉末或純鋁粉末相互混合均勻,燒結(jié)成密度不低于理論密度的94%的塊體。本發(fā)明具有成分簡單、經(jīng)濟(jì)、膜基附著力強(qiáng),使用壽命長、性能好,鍍膜不起斑點(diǎn)、耐蝕耐磨、色澤漂亮等特點(diǎn)。用于鍍膜制造成本低廉,無毒,易于實(shí)現(xiàn)摻雜,且ZAO薄膜在等離子體中穩(wěn)定性好,是ITO的替代產(chǎn)品,尤其是在太陽能電池透明電極領(lǐng)域。