干法刻蝕機(jī)預(yù)防性維護(hù)方法、系統(tǒng)及存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010656426.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113919515A 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN113919515A 申請公布日 2022-01-11
分類號 G06Q10/00（2012.01）I;G06Q50/04（2012.01）I;G06F17/18（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 楊冬野;袁蕾 申請（專利權(quán)）人 蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 215000江蘇省蘇州市常熟市常熟高新區(qū)技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金門路2號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了干法刻蝕機(jī)預(yù)防性維護(hù)方法、系統(tǒng)及存儲介質(zhì)，方法包括以下步驟：通過材料組織和性能的表征手段對有缺陷的干法刻蝕試制品進(jìn)行缺陷機(jī)理分析，獲得缺陷種類及產(chǎn)生設(shè)備和工藝主次因素；根據(jù)以上分析結(jié)果，采用統(tǒng)計(jì)學(xué)方法建立缺陷預(yù)測模型；根據(jù)缺陷預(yù)測模型制定干法刻蝕機(jī)正常運(yùn)行的維護(hù)閾值；根據(jù)該維護(hù)閾值與獲取的當(dāng)前干法刻蝕機(jī)特征參數(shù)的對比推送正常/報(bào)警響應(yīng)，并匹配相應(yīng)維修內(nèi)容與計(jì)劃。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了有效提高設(shè)備的運(yùn)行穩(wěn)定性與產(chǎn)品良品率。