靜電卡盤表面處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010602239.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113937048A 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN113937048A 申請公布日 2022-01-14
分類號 H01L21/683（2006.01）I;B28B3/00（2006.01）I;B28B23/00（2006.01）I;B28B11/24（2006.01）I;B24C1/06（2006.01）I;G01B21/30（2006.01）I;B28D1/14（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊冬野;袁蕾 申請（專利權(quán)）人 蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 215000江蘇省蘇州市常熟市常熟高新區(qū)技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金門路2號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了靜電卡盤表面處理方法，靜電卡盤由氧化鋁基材和其內(nèi)部的金屬電極組成；包括以下步驟：1）靜電卡盤成型，氧化鋁粉末采用冷等靜壓處理，得到成型體；2）成型體采用熱等靜壓進行燒結(jié)，制成靜電卡盤為圓盤狀結(jié)構(gòu)；3）噴砂處理，噴砂機由基材中心旋繞周向打圈向外噴砂，粗噴；4）細噴；5）精噴；6）檢測，對基材表面進行粗造度檢測，選取基材表面任意一2.5mm的直徑范圍，檢測該范圍內(nèi)的最高凸緣和最低凸緣的高低差，當(dāng)高低差大于5μm時，增加精噴材料的目數(shù)50?100目，噴砂直至符合目標(biāo)范圍。本發(fā)明實現(xiàn)了達到目標(biāo)范圍內(nèi)的凸緣高度差，以獲得較好的吸附力。