用于半導(dǎo)體基板的搬運(yùn)手臂

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022825336.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212342593U 公開(公告)日 2021-01-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN212342593U 申請(qǐng)公布日 2021-01-12
分類號(hào) H01L21/677;H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊冬野;袁蕾 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 湯東鳳
地址 215000 江蘇省蘇州市常熟市常熟高新區(qū)技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金門路2號(hào)2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型揭示了用于半導(dǎo)體基板的搬運(yùn)手臂,包括固定板、可拆卸連接固定板同側(cè)且平行間隔設(shè)置的多個(gè)條形支撐體、多個(gè)嵌入條形支撐體內(nèi)的吸附組件,所述條形支撐體底部設(shè)有連通各吸附組件的真空吸附管,所述吸附組件包括固定座、設(shè)于固定座底部的固定塊、設(shè)于固定座頂部的固定槽、設(shè)于固定槽中的安裝座、彈性嵌入安裝座內(nèi)的蓋板、設(shè)于蓋板內(nèi)部空腔中用于彈性支撐固定座與蓋板的吸盤;所述固定塊中貫穿設(shè)有連通真空吸附管和蓋板內(nèi)部空腔的真空孔,蓋板上開設(shè)有連通其內(nèi)部空腔的吸附孔。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了提高搬運(yùn)手臂的穩(wěn)定性,具備抗震性和抗氧化性。