干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021047599.1 申請日 -
公開(公告)號 CN212303611U 公開(公告)日 2021-01-05
申請公布號 CN212303611U 申請公布日 2021-01-05
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊冬野;袁蕾 申請(專利權(quán))人 蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 湯東鳳
地址 215000江蘇省蘇州市常熟市常熟高新區(qū)技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金門路2號2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型揭示了干法刻蝕機用多功能安裝調(diào)試平臺,包括升降移動的升降平臺裝置、設(shè)于升降平臺裝置內(nèi)的旋轉(zhuǎn)裝置、以及設(shè)于旋轉(zhuǎn)裝置頂部的伸縮平臺裝置;伸縮平臺裝置包括基板、設(shè)于基板頂部的導(dǎo)軌連板、設(shè)于導(dǎo)軌連板上沿其長度方向設(shè)置的上導(dǎo)軌和下導(dǎo)軌、配合上導(dǎo)軌沿其滑動的上手臂支架、配合下導(dǎo)軌沿其滑動的下手臂支架、以及相對平行設(shè)于上手臂支架側(cè)邊和設(shè)于下手臂支架側(cè)邊的若干手臂支撐體,手臂支撐體承載待刻蝕產(chǎn)品,旋轉(zhuǎn)裝置內(nèi)旋轉(zhuǎn)的主軸連接基板。本實用新型實現(xiàn)了在干法刻蝕機內(nèi)有效調(diào)試液晶顯示屏的位置,達到最佳刻蝕效果。??