一種靜電卡盤

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911405456.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111900117A 公開（公告）日 2020-11-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN111900117A 申請(qǐng)公布日 2020-11-06
分類號(hào) H01L21/683(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊冬野;袁蕾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州芯慧聯(lián)半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京知識(shí)律師事務(wù)所 代理人 高玲玲
地址 215500江蘇省蘇州市常熟市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)金門路2號(hào)2幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種靜電卡盤，其結(jié)構(gòu)包含基板、絕緣層、電極層、第一誘電層及第二誘電層。本發(fā)明的靜電卡盤可以抑制因漏電發(fā)生的異常放電，提高其電氣特性及耐久性。