鑄錠單晶爐和鑄錠單晶硅的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011253772.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113699581A 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN113699581A 申請公布日 2021-11-26
分類號 C30B11/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 何亮;鄒貴付;毛偉;雷琦;羅鴻志;何新根;李小平;李建敏;程小娟;陳仙輝;甘勝泉 申請（專利權(quán)）人 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌逸辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉曉敏
地址 338000江西省新余市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鑄錠單晶爐和鑄錠單晶硅的制備方法。包括爐體，所述爐體頂部設(shè)置有第一開口，所述第一開口中設(shè)置有進(jìn)氣裝置；所述爐體內(nèi)設(shè)置有隔熱籠，所述隔熱籠內(nèi)設(shè)有熱交換臺，所述熱交換臺上設(shè)置有底板，所述底板設(shè)置在所述石英坩堝底部，所述底板與圍設(shè)在所述石英坩堝外側(cè)的護(hù)板相連，所述隔熱籠內(nèi)還設(shè)有側(cè)邊加熱器，所述側(cè)邊加熱器設(shè)置在所述護(hù)板外側(cè)，所述護(hù)板上設(shè)置有蓋板；所述爐體底部設(shè)有第二開口，所述第二開口內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述熱交換臺相固定，所述旋轉(zhuǎn)軸與所述爐體外的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接，其中，所述護(hù)板包含四塊首尾相連的護(hù)板，所述四塊護(hù)板都存在一邊邊緣設(shè)置有矩形缺口。采用鑄錠單晶爐和該鑄錠單晶硅的制備方法制備的鑄錠單晶硅的雜質(zhì)含量少，品質(zhì)高。