一種紫外滾輪式納米壓印裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621039209.X 申請日 -
公開（公告）號 CN206051542U 公開（公告）日 2017-03-29
申請公布號 CN206051542U 申請公布日 2017-03-29
分類號 B81C3/00 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 蘇州訊鼎光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 210028 江蘇省南京市棲霞區(qū)和燕路371號東南大學(xué)國家大學(xué)科技園科創(chuàng)樓C405
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種紫外滾輪式納米壓印裝置，屬于微納制造和器件制造技術(shù)領(lǐng)域。包括設(shè)備密封罩、用于將軟模板均勻壓印于襯底模板上的壓印滾輪、用于將軟模板均勻纏繞的送料滾輪、軟模板夾具、用于調(diào)節(jié)壓印滾輪與軟模板間壓力的伸縮桿、用于壓印結(jié)束時切斷軟模板的刀片以及提供固化所需紫外光線的紫外燈，本實(shí)用新型提供的一種紫外滾輪式納米壓印裝置，通過顯示控制箱驅(qū)動送料滾輪與壓印滾輪由左至右勻速運(yùn)動，將軟模板均勻壓印在襯底模板上，壓印滾輪運(yùn)動過程結(jié)束后，紫外燈自動開啟，光照一段時間固化后，將軟模板切斷，即可取出襯底模板，完成了本次滾輪式壓印。