壓電驅(qū)動(dòng)互屏蔽電極微型電場(chǎng)傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910565144.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110412362B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110412362B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01R29/12(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 夏善紅;雷虎成;彭春榮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 鄢功軍 |
| 地址 | 100190北京市海淀區(qū)北四環(huán)西路19號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種壓電驅(qū)動(dòng)互屏蔽電極微型電場(chǎng)傳感器，主要包括：襯底、固定電極、可動(dòng)電極、支柱、彈性梁、絕緣層和驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；其中，構(gòu)成傳感器敏感結(jié)構(gòu)的可動(dòng)電極和固定電極在靜止?fàn)顟B(tài)時(shí)位于同一平面，兩者均為感應(yīng)電極且互為屏蔽電極；由驅(qū)動(dòng)電極和壓電層構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)可動(dòng)電極運(yùn)動(dòng)，使固定電極與可動(dòng)電極產(chǎn)生相對(duì)位置變化；驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)位于感應(yīng)電極外側(cè)，驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)感應(yīng)電極上的信號(hào)干擾小。本發(fā)明的電場(chǎng)傳感器可實(shí)現(xiàn)低電壓驅(qū)動(dòng)，有利于降低耦合干擾，提高傳感器的信噪比；通過(guò)互屏蔽電極的設(shè)置，可提高敏感結(jié)構(gòu)的感應(yīng)效率，有利于提高傳感器的分辨力和靈敏度；還具有微型化、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于集成和批量化生產(chǎn)等特點(diǎn)。?? |
