壓電驅(qū)動互屏蔽電極微型電場傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910565144.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110412362A 公開（公告）日 2019-11-05
申請公布號 CN110412362A 申請公布日 2019-11-05
分類號 G01R29/12（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 夏善紅; 雷虎成; 彭春榮 申請（專利權(quán)）人 北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 中國科學(xué)院電子學(xué)研究所; 北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司
地址 100190 北京市海淀區(qū)北四環(huán)西路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種壓電驅(qū)動互屏蔽電極微型電場傳感器，主要包括：襯底、固定電極、可動電極、支柱、彈性梁、絕緣層和驅(qū)動結(jié)構(gòu)；其中，構(gòu)成傳感器敏感結(jié)構(gòu)的可動電極和固定電極在靜止?fàn)顟B(tài)時位于同一平面，兩者均為感應(yīng)電極且互為屏蔽電極；由驅(qū)動電極和壓電層構(gòu)成的驅(qū)動結(jié)構(gòu)驅(qū)動可動電極運動，使固定電極與可動電極產(chǎn)生相對位置變化；驅(qū)動結(jié)構(gòu)位于感應(yīng)電極外側(cè)，驅(qū)動信號對感應(yīng)電極上的信號干擾小。本發(fā)明的電場傳感器可實現(xiàn)低電壓驅(qū)動，有利于降低耦合干擾，提高傳感器的信噪比；通過互屏蔽電極的設(shè)置，可提高敏感結(jié)構(gòu)的感應(yīng)效率，有利于提高傳感器的分辨力和靈敏度；還具有微型化、結(jié)構(gòu)簡單、便于集成和批量化生產(chǎn)等特點。