光電傳感器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710848379.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN107634079B 公開(kāi)（公告）日 2020-05-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN107634079B 申請(qǐng)公布日 2020-05-08
分類(lèi)號(hào) H01L27/146 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 王凱;周賢達(dá);郭海成;王文;張猛 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廣州晟欣信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 中山晟欣信息科技有限公司;中山大學(xué)
地址 528400 廣東省中山市翠亨新區(qū)臨海工業(yè)園翠城道臨海廠房C棟第二層A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種光電傳感器及其制造方法。該光電傳感器傳感器包括襯底，設(shè)在襯底上方的第一柵極，覆蓋于第一柵極表面的第一柵介質(zhì)層，設(shè)在第一柵介質(zhì)層上表面的溝道區(qū)、源區(qū)及漏區(qū)，覆蓋于溝道區(qū)、源區(qū)及漏區(qū)表面的第二柵介質(zhì)層，與源區(qū)相接觸的源極，與漏區(qū)相接觸的漏極，設(shè)在第二柵介質(zhì)層上表面且位于溝道區(qū)上方的第二柵極，覆蓋于第二柵極表面并與其形成歐姆接觸的導(dǎo)電層，位于導(dǎo)電層上表面并與其形成歐姆接觸的半導(dǎo)體感光層，位于半導(dǎo)體感光層上表面并與其形成載流子勢(shì)壘的勢(shì)壘層、位于勢(shì)壘層之上的第三柵極。該光電傳感器能夠用于大面積成像，并具有高空間分辨率，高靈敏度，且響應(yīng)速度快。