一種帶石英爐管防腐蝕結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021943070.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213977959U 公開（公告）日 2021-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN213977959U 申請(qǐng)公布日 2021-08-17
分類號(hào) C30B31/10（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 雷小龍;李寶飛;胡云川;何長(zhǎng)發(fā);匡成國(guó);彭欣欣;阿?？斯?董紀(jì)剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 通威太陽(yáng)能（成都）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都弘毅天承知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄧蕓
地址 610213四川省成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)工業(yè)集中發(fā)展區(qū)六期內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種帶石英爐管防腐蝕結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散爐，涉及半導(dǎo)體太陽(yáng)能擴(kuò)散設(shè)備領(lǐng)域，本實(shí)用新型包括加熱爐和設(shè)置在加熱爐內(nèi)的石英爐管，石英爐管一側(cè)延伸出加熱爐設(shè)置有爐門，所述石英爐管另一側(cè)設(shè)置有延伸出加熱爐進(jìn)氣口和排氣口，石英爐管內(nèi)設(shè)置有與排氣口配合的尾氣管，所述的進(jìn)氣口處連接有防止偏磷酸沉積在石英爐管管尾的進(jìn)氣管組件，排氣口處連接有防止偏磷酸沉積在石英爐管管尾及尾氣管外壁的防腐蝕出氣管組件；本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，用以解決偏磷酸沉積，長(zhǎng)期腐蝕石英爐管問題，降低了人工勞動(dòng)強(qiáng)度。