一種真空機臺快速復機方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110574718.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113345979A 公開（公告）日 2021-09-03
申請公布號 CN113345979A 申請公布日 2021-09-03
分類號 H01L31/18（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王海光;占建;胡廣豹;章偉冠;蘇世杰;王秀鵬 申請（專利權(quán)）人 通威太陽能（成都）有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 呂露
地址 610000四川省成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)集中發(fā)展區(qū)六期內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例提供一種真空機臺快速復機方法，涉及太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。真空機臺快速復機方法用于使真空機臺的腔室內(nèi)的真空值達到P0，溫度達到T0，包括以下步驟：S1、清理真空機臺的腔室內(nèi)的積水；S2、使腔室內(nèi)的真空值降低至P1，P1＞P0，使腔室內(nèi)的溫度升溫至T1，T1＞T0；S3、使腔室的真空值進一步降低至P0，使腔室內(nèi)的溫度降溫至T0。該真空機臺快速復機方法能夠縮短復機時間，滿足快速復機需求，提高真空機臺的稼動率。