一種圓柱靶磁鐵頂出裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022508273.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN214193437U | 公開（公告）日 | 2021-09-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214193437U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-14 |
| 分類號(hào) | C23C14/35（2006.01）I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 趙巖;苗潤(rùn)財(cái);苗潤(rùn)發(fā);苗偉偉;王健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海繁楓真空科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海互順專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 成秋麗 |
| 地址 | 201507上海市金山區(qū)金山工業(yè)區(qū)亭衛(wèi)公路3877號(hào)2幢305室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種圓柱靶磁鐵頂出裝置，包括靶材，所述靶材的內(nèi)側(cè)設(shè)置有極靴，所述極靴的外側(cè)固定連接有若干個(gè)伸縮器，所述伸縮器的外側(cè)設(shè)置連接有磁鐵，所述磁鐵的底部固定連接有連接板，所述連接板的底部固定連接有連接柱，所述連接柱的底部設(shè)置連接有固定柱，所述連接柱的外側(cè)固定連接有復(fù)位彈簧，且連接柱的內(nèi)側(cè)固定連接有潤(rùn)滑層，所述連接柱的內(nèi)側(cè)底端固定連接有限位板。本實(shí)用新型通過(guò)連接柱、復(fù)位彈簧、極靴和磁鐵，當(dāng)極靴內(nèi)腔增大氣壓，安裝在連接柱上的磁鐵被壓縮，連接柱帶動(dòng)磁鐵向外伸出，當(dāng)氣壓減小，復(fù)位彈簧還原到初始狀態(tài)，連接柱縮回，便于工作人員的使用。 |
