一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的工藝參數(shù)分析方法、設(shè)備以及計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110667822.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113326853A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113326853A 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類號(hào) G06K9/46（2006.01）I;G06K9/62（2006.01）I;G06N3/04（2006.01）I;G06N3/08（2006.01）I 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 雷曉強(qiáng);韓邦;翟正軍;趙楠;李元博;史琛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安隆基智能技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京知迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王勝利
地址 710018陜西省西安市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)草灘生態(tài)產(chǎn)業(yè)園尚苑路8369號(hào)隆基樂(lè)葉A1號(hào)辦公大樓10樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的工藝參數(shù)分析方法、設(shè)備以及計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)，涉及神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)領(lǐng)域，以解決設(shè)備的多個(gè)工藝參數(shù)之間關(guān)聯(lián)性較大的技術(shù)問(wèn)題。上述基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的工藝參數(shù)分析的方法包括：根據(jù)多個(gè)工藝過(guò)程產(chǎn)生的工藝參數(shù)的時(shí)序數(shù)據(jù)創(chuàng)建測(cè)試數(shù)據(jù)集，其中，每個(gè)工藝過(guò)程均包括多個(gè)工藝參數(shù)。將測(cè)試數(shù)據(jù)集輸入至神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)分類模型中，提取出各個(gè)工藝參數(shù)相應(yīng)的特征向量，其中，神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)分類模型包括多個(gè)門控循環(huán)網(wǎng)絡(luò)，每個(gè)門控循環(huán)網(wǎng)絡(luò)用于對(duì)一個(gè)工藝參數(shù)的時(shí)序數(shù)據(jù)進(jìn)行特征提取。根據(jù)特征向量與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)分類模型中全連接層的權(quán)值，確定相應(yīng)工藝參數(shù)的貢獻(xiàn)度向量。根據(jù)每個(gè)工藝參數(shù)相應(yīng)的貢獻(xiàn)度向量，確定相應(yīng)工藝參數(shù)對(duì)工藝過(guò)程的影響度。