電容式加速度檢波器中間可動(dòng)電極

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920029122.8 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN201444162U 公開(公告)日 2010-04-28
申請公布號(hào) CN201444162U 申請公布日 2010-04-28
分類號(hào) G01P15/125(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 楊仲華;唐曉剛;張麗霞;牛德芳 申請(專利權(quán))人 威海雙豐電子集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 264209 山東省威海市高技區(qū)火炬路156號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種電容式加速度檢波器中間可動(dòng)電極,涉及電容式加速度檢波器,設(shè)有質(zhì)量塊,質(zhì)量塊上均布支撐梁,支撐梁連接邊框內(nèi)側(cè),質(zhì)量塊上設(shè)有金屬極板,支撐梁為直形支撐梁,制造工藝簡單,成本低,制作過程中不容易形成應(yīng)力集中,不容易造成變形斷裂,電容量一致性好,噪聲小,性能穩(wěn)定,波形失真小,適用于電容式加速度檢波器。