二極管的金屬電極、制備方法和二極管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610475438.4 申請日 -
公開（公告）號 CN107546120B 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN107546120B 申請公布日 2021-04-09
分類號 H01L29/43(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L29/868(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李理;趙圣哲;姜春亮 申請（專利權(quán)）人 深圳方正微電子有限公司
代理機構(gòu) 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尚志峰;汪海屏
地址 100871北京市海淀區(qū)成府路298號方正大廈9層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種二極管的金屬電極、制備方法和二極管，其中，制備方法包括：在完成二極管的半導體功能層的制備后，在所述半導體功能層的正側(cè)形成合金層；對所述合金層進行退火處理，以形成所述半導體功能層和所述合金層之間的金屬硅化物層；在形成所述金屬硅化物層后，在所述半導體功能層的背側(cè)形成金屬層。通過本發(fā)明技術(shù)方案，減小了少子壽命，減小了反向恢復(fù)時間，降低了器件的通態(tài)壓降。??