一種晶元在線監(jiān)測方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610091124.4 申請日 -
公開（公告）號 CN107093568B 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN107093568B 申請公布日 2021-04-09
分類號 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 賀業(yè)成;劉宇航 申請（專利權(quán)）人 深圳方正微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 吳黎
地址 100871北京市海淀區(qū)成府路298號方正大廈9層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的晶元在線監(jiān)測方法，首先獲取多個晶元的多個測試數(shù)據(jù)，然后根據(jù)每個晶元的測試數(shù)據(jù)的最大值和最小值之差值判斷單個晶元是否出現(xiàn)問題，從而對單個晶元進(jìn)行報警；此外，還根據(jù)每個晶元的測試均值是否超出閾值進(jìn)行報警，用于監(jiān)測不同晶元之間的異常，從而實現(xiàn)了對單個晶元以及不同晶元之間的在線監(jiān)測，提高了監(jiān)測效率和監(jiān)測精度。此外，該方案中還計算除了多個質(zhì)量監(jiān)測參數(shù)Cp、Cpu、Cpl、Cpk、Ca，綜合監(jiān)測晶元的質(zhì)量狀況，通過圖表直觀的進(jìn)行顯示，提供便利的操作方式。??