濕法蝕刻機(jī)臺(tái)輔助補(bǔ)藥系統(tǒng)及濕法蝕刻系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110698678.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113471105A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113471105A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/306（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭千華;陳春河;陳星;閔力;李志敏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳方正微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 虞凌霄
地址 518172廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍工業(yè)城寶龍七路5號(hào)方正微電子工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種濕法蝕刻機(jī)臺(tái)輔助補(bǔ)藥系統(tǒng)，包括：補(bǔ)藥控制器；換藥信號(hào)獲取單元，用于在獲取到濕法蝕刻機(jī)臺(tái)的換藥信號(hào)時(shí)，使補(bǔ)藥控制器停止動(dòng)作；傳感器，與補(bǔ)藥控制器連接，并設(shè)于量杯中，用于檢測量杯的液位；其中，補(bǔ)藥控制器用于定時(shí)向濕法蝕刻機(jī)臺(tái)的控制器發(fā)送堿液入量杯信號(hào)以使?jié)穹ㄎg刻機(jī)臺(tái)的控制器控制量杯中進(jìn)堿液；補(bǔ)藥控制器還用于在第一傳感器檢測到量杯達(dá)到第一液位時(shí)，向濕法蝕刻機(jī)臺(tái)的控制器發(fā)送堿液入藥槽信號(hào)以使?jié)穹ㄎg刻機(jī)臺(tái)的控制器控制量杯向藥槽排堿液，并使量杯停止進(jìn)堿液。本發(fā)明外掛于濕法蝕刻機(jī)臺(tái)，在不更改管路和執(zhí)行元器件情況下，通過外控電路實(shí)現(xiàn)自動(dòng)補(bǔ)藥功能，維持藥槽藥液濃度，從而提升工藝穩(wěn)定性。