多晶鑄錠爐質(zhì)量流量控制器過濾器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201220455120.7 申請日 -
公開（公告）號 CN202830229U 公開（公告）日 2013-03-27
申請公布號 CN202830229U 申請公布日 2013-03-27
分類號 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 張永坦;孫志剛;劉茂華;韓子強(qiáng);石堅;趙會前;印亞峰;姚嵩 申請（專利權(quán)）人 安陽市鳳凰光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安陽市智浩專利代理事務(wù)所 代理人 安陽市鳳凰光伏科技有限公司
地址 456400 河南省安陽市滑縣產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)大三路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶鑄錠爐質(zhì)量流量控制器過濾器，涉及多晶鑄錠爐生產(chǎn)裝置，質(zhì)量流量控制器前端增加過濾器；過濾器通過卡箍及密封圈連接到質(zhì)量流量控制器。過濾器的一端口徑與質(zhì)量流量控制器口徑相同，另一端口徑與氬氣進(jìn)氣管道相同。所述過濾器是指精密過濾器中的一種。所述過濾器能濾去氬氣的微小雜質(zhì)顆粒。所述過濾器所承受的壓力為0.25MPa以上。本實用新型的有益效果是：質(zhì)量流量控制器前端增加過濾器，可以進(jìn)一步凈化氬氣里邊的雜質(zhì)，避免MFC出現(xiàn)故障，減少設(shè)備故障率，節(jié)約維修費用，降低生產(chǎn)成本。