多晶鑄錠爐質(zhì)量流量控制器過(guò)濾器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220455120.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202830229U 公開(kāi)（公告）日 2013-03-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN202830229U 申請(qǐng)公布日 2013-03-27
分類號(hào) C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 張永坦;孫志剛;劉茂華;韓子強(qiáng);石堅(jiān);趙會(huì)前;印亞峰;姚嵩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安陽(yáng)市鳳凰光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安陽(yáng)市智浩專利代理事務(wù)所 代理人 安陽(yáng)市鳳凰光伏科技有限公司
地址 456400 河南省安陽(yáng)市滑縣產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)大三路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶鑄錠爐質(zhì)量流量控制器過(guò)濾器，涉及多晶鑄錠爐生產(chǎn)裝置，質(zhì)量流量控制器前端增加過(guò)濾器；過(guò)濾器通過(guò)卡箍及密封圈連接到質(zhì)量流量控制器。過(guò)濾器的一端口徑與質(zhì)量流量控制器口徑相同，另一端口徑與氬氣進(jìn)氣管道相同。所述過(guò)濾器是指精密過(guò)濾器中的一種。所述過(guò)濾器能濾去氬氣的微小雜質(zhì)顆粒。所述過(guò)濾器所承受的壓力為0.25MPa以上。本實(shí)用新型的有益效果是：質(zhì)量流量控制器前端增加過(guò)濾器，可以進(jìn)一步凈化氬氣里邊的雜質(zhì)，避免MFC出現(xiàn)故障，減少設(shè)備故障率，節(jié)約維修費(fèi)用，降低生產(chǎn)成本。