一種探針檢測(cè)工裝的集成測(cè)試裝置及其工作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110917361.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113514677A 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113514677A 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) G01R1/067（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 裴悠松;樸文杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州奧金斯電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 劉剛
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯華路5號(hào)君風(fēng)生活廣場(chǎng)8幢15005室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種探針檢測(cè)工裝的集成測(cè)試裝置及其工作方法，包括檢測(cè)機(jī)構(gòu)和主控終端，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括機(jī)械部分疲勞檢測(cè)組件和探針性能測(cè)試組件；機(jī)械部分疲勞測(cè)試組件，包括工裝安裝座和配合的往復(fù)加壓機(jī)構(gòu)，所述往復(fù)加壓機(jī)構(gòu)包括架設(shè)在工裝安裝座上的施壓工件和連接在施壓工件上的數(shù)控往復(fù)驅(qū)動(dòng)裝置；探針性能測(cè)試組件，包括探針電性能測(cè)試組件，所述探針電性能測(cè)試組件包括工裝夾具和架設(shè)在工裝夾具上的電性能測(cè)試模塊，所述電性能測(cè)試模塊包括架設(shè)在工裝夾具上方的數(shù)控升降抵觸探針以及與升降抵觸探針配合的導(dǎo)通回路，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于檢測(cè)設(shè)備小型化，檢測(cè)流程集成化，有效提升了檢測(cè)效率，降低了檢測(cè)成本。