一種石英舟

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120612021.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213459672U 公開（公告）日 2021-06-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN213459672U 申請(qǐng)公布日 2021-06-15
分類號(hào) H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周建軍;李守衛(wèi);楊廣偉;陳泉;周軍建;郁小虎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 義烏晶澳太陽能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 石艷紅
地址 322005浙江省金華市義烏市義亭鎮(zhèn)同澤路165號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種石英舟，涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域。包括兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的面板和用于連接兩個(gè)面板的連接組件，連接組件包括兩個(gè)上連接板和兩個(gè)下連接桿，兩個(gè)上連接板的兩端分別與面板的上半部連接，兩個(gè)下連接桿的兩端分別與面板的下半部連接，連接組件上至少設(shè)置有兩組載片架，且載片架上設(shè)置有與連接組件的長度方向平行的插槽，還包括有硅片，插槽可供硅片插入，且插入后的硅片與所述面板垂直。本實(shí)用新型提供的一種石英舟，可以有效避免硅片對(duì)工藝氣體的阻擋，可以讓工藝腔室內(nèi)氣體快速分布均勻，提升反應(yīng)后方阻/氧化層均勻性。