一種晶圓激光開(kāi)槽裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921254512.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210548930U 公開(kāi)（公告）日 2020-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN210548930U 申請(qǐng)公布日 2020-05-19
分類號(hào) B23K26/38;B23K26/067 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 程勇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳泰研半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市神州聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 周松強(qiáng)
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道福圍社區(qū)107國(guó)道旁懷德銀山大廈811
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶圓激光開(kāi)槽裝置，該裝置包括激光器、第一光闌、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、第二光闌、反射鏡、衍射分光鏡、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)、聚焦鏡和運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，激光器發(fā)射出激光束，激光束依次經(jīng)過(guò)第一光闌、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡、第二光闌、反射鏡和衍射分光鏡，衍射分光鏡輸出兩束性質(zhì)相同的激光束，再經(jīng)過(guò)聚焦鏡，兩束激光束聚焦于放置在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的待加工晶圓上形成兩個(gè)聚焦光斑，通過(guò)旋轉(zhuǎn)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)控制衍射分光鏡的旋轉(zhuǎn)角度，改變兩個(gè)聚焦光斑與垂直于切割道方向的夾角，進(jìn)而控制兩個(gè)聚焦光斑在垂直切割道方向的距離，即可改變切割道的間距。