基于氧化鎵的異質(zhì)結(jié)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911285322.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111129122B 公開（公告）日 2022-05-06
申請公布號 CN111129122B 申請公布日 2022-05-06
分類號 H01L29/267（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 龍世兵;向?qū)W強(qiáng);丁夢璠;徐光偉;趙曉龍;劉明 申請（專利權(quán)）人 合肥中科微電子創(chuàng)新中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 任巖
地址 230000 安徽省合肥市中國（安徽）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)合肥市高新區(qū)望江西路5089號中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)先進(jìn)技術(shù)研究院未來中心A1205-A1208
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于氧化鎵的異質(zhì)結(jié)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)包括：至少一氧化鎵基層，氧化鎵基層具備多個(gè)接觸表面；至少一銅鐵礦層，銅鐵礦層通過接觸表面與氧化鎵基層形成異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)。通過該結(jié)構(gòu)，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了禁帶寬度的匹配、導(dǎo)帶的匹配以及價(jià)帶的匹配，提高了該結(jié)構(gòu)的電流輸運(yùn)能力；另外，該異質(zhì)PN結(jié)結(jié)構(gòu)還實(shí)現(xiàn)了晶體結(jié)構(gòu)的匹配，避免了在該異質(zhì)PN結(jié)的接觸面形成大量的位錯(cuò)缺陷，提高了PN結(jié)的正向輸運(yùn)性能、采用該結(jié)構(gòu)的器件導(dǎo)通電阻以及器件性能穩(wěn)定性；最后，銅鐵礦材料的制備工藝簡單，可以直接采用類似溶膠凝膠法或水熱合成法形成，極大地降低了該結(jié)構(gòu)的制備成本和流程，易于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)。