一種抗ESD能力的測(cè)試裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310044261.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103105558B 公開(kāi)（公告）日 2015-06-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN103105558B 申請(qǐng)公布日 2015-06-03
分類號(hào) G01R31/00(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 宋良奎;劉東;周自立;姚伏恒;劉海峰;周衛(wèi)華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市中顯微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東星辰律師事務(wù)所 代理人 深圳市中顯微電子有限公司
地址 518083 廣東省深圳市鹽田區(qū)北山工業(yè)區(qū)6棟1-5層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于電子元器件抗ESD能力的測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種抗ESD能力的測(cè)試裝置及方法。本發(fā)明抗ESD能力的測(cè)試裝置包括ESD測(cè)試平臺(tái)、定位裝置、被測(cè)器件和靜電槍，所述定位裝置位于ESD測(cè)試平臺(tái)的上方，所述被測(cè)器件置于定位裝置內(nèi)，通過(guò)所述定位裝置將靜電槍的釋放端與被測(cè)器件表面的測(cè)量距離固定在一定標(biāo)準(zhǔn)值。本發(fā)明實(shí)施例的抗ESD能力的測(cè)試裝置及方法可依據(jù)空氣放電和接觸式放電的不同需求，通過(guò)來(lái)高度控制裝置微調(diào)可升降支架的高度，以滿足在空氣式放電測(cè)試時(shí)使靜電槍的釋放端與被測(cè)器件表面的距離固定在一定標(biāo)準(zhǔn)值，并可依據(jù)被測(cè)器件的大小進(jìn)行差異化設(shè)計(jì)和制作，以滿足測(cè)量時(shí)的定位需要。