一種用于搬運(yùn)晶盒的機(jī)械手

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021252740.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213439671U 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN213439671U 申請公布日 2021-06-15
分類號 B25J9/02（2006.01）I;B25J9/10（2006.01）I;B25J9/12（2006.01）I;B25J18/00（2006.01）I;B65G47/90（2006.01）I;B25J9/16（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 朱亮;沈文杰;周建燦;魯沖昊;陳聰;張凌峰;張磊;謝文;楊希測 申請（專利權(quán)）人 浙江求是半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 代理人 周世駿
地址 311100浙江省杭州市余杭區(qū)東湖街道錢江經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)龍船塢路96號2幢3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于搬運(yùn)晶盒的機(jī)械手。包括底座、豎梁和機(jī)械臂組件。手臂支座設(shè)于安裝塊上端面，手臂支座上端面設(shè)有通過同步帶連接的一級主動輪和一級從動輪，一級主動輪與手臂驅(qū)動電機(jī)相連。一級手臂內(nèi)設(shè)有通過同步帶相連且傳動比為1:2的二級主動輪和二級從動輪，二級主動輪與一級從動輪同軸連接且旋轉(zhuǎn)方向相反。二級手臂內(nèi)設(shè)有通過同步帶相連且傳動比為2：1的三級主動輪和三級從動輪；三級主動輪與二級從動輪同軸連接且旋轉(zhuǎn)方向相反；三級從動輪與晶盒托盤相連；一級手臂和二級手臂內(nèi)的同步帶輪中心距相等。本實(shí)用新型控制簡單，性能穩(wěn)定，結(jié)構(gòu)緊湊，保證定位精度的同時提高了半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部晶盒傳送的效率。