一種晶圓加熱器表面溫度分布檢測裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922228724.2 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213022000U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請公布號 | CN213022000U | 申請公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號 | G01K7/02(2021.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 游利;賈坤良 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇先鋒精密科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 靖江市靖泰專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陸平 |
| 地址 | 214500江蘇省泰州市靖江市城南園區(qū)德裕路8號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種晶圓加熱器表面溫度分布檢測裝置，包括底部晶圓、上部晶圓、微型熱電偶、可伐合金支架、真空電極與溫度監(jiān)測裝置，所述的微型熱電偶設(shè)置在底部晶圓與上部晶圓之間，所述的底部晶圓與上部晶圓設(shè)置在可伐合金支架上，所述的微型熱電偶的信號線通過可伐合金支架固定，所述的微型熱電偶通過真空電極與溫度檢測裝置相連。本發(fā)明晶圓加熱器表面溫度分布檢測裝置通過使用雙層晶圓、內(nèi)部加強(qiáng)支架和測溫點(diǎn)的精確加工，使用時(shí)由于有加強(qiáng)支架，檢測裝置使用時(shí)不易碎裂，使用雙層晶圓結(jié)構(gòu)熱電偶測溫頭不易掉落,使用真空電極可以隔絕真空和大氣，并通過真空電極將熱電偶信號線引到大氣側(cè)，通過溫度監(jiān)測裝置記錄晶圓加熱器表面溫度分布情況。?? |
