用于晶圓升降的頂針支撐部件的裝配方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011053640.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112192496A | 公開（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申請公布號 | CN112192496A | 申請公布日 | 2021-01-08 |
| 分類號 | B25B27/00(2006.01)I;F16B11/00(2006.01)I | 分類 | 手動工具；輕便機(jī)動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 賈昆良 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇先鋒精密科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 靖江市靖泰專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 214500江蘇省泰州市靖江市城南園區(qū)德裕路8號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于晶圓升降的頂針支撐部件的裝配方法，包括以下步驟：(a)設(shè)計(jì)裝配工裝；（b)加工裝配工裝；(c）對裝配工裝進(jìn)行本色陽極氧化處理；（d)將三個陶瓷頂針放入頂針孔內(nèi)，在底部安裝支撐底座，三個陶瓷頂針插進(jìn)支撐底座陶瓷頂針孔內(nèi)；將兩個定位銷裝入支撐底座和裝配工裝定位銷孔中,兩個螺釘將支撐底座緊固在裝配工裝上；(e)用工具輕壓陶瓷頂針尾部，使三個陶瓷頂針頭部與裝配工裝接觸,在支撐底座上陶瓷頂針孔內(nèi)灌環(huán)氧樹脂密封膠固定陶瓷頂針；(f)從裝配工裝上卸下安裝好的頂針支撐部件，放入烤箱，設(shè)定溫度110~130°烘烤3~4小時即可。本發(fā)明裝配方便，保證了裝配質(zhì)量，大幅度提高了工作效率。?? |
