一種等離子刻蝕機用全封閉式云母加熱基座
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020270294.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211879329U | 公開（公告）日 | 2020-11-06 |
| 申請公布號 | CN211879329U | 申請公布日 | 2020-11-06 |
| 分類號 | H01J37/32(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 游利;賈坤良 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇先鋒精密科技股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 靖江市靖泰專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 靖江先鋒半導體科技有限公司 |
| 地址 | 214500江蘇省泰州市靖江市城南園區(qū)德裕路8號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種等離子刻蝕機用全封閉式云母加熱基座，包括加熱基座主體、云母加熱片、陶瓷隔熱板以及耐高溫隔熱轉(zhuǎn)接密封接頭，所述的加熱基座主體內(nèi)設(shè)置有云母加熱片以及陶瓷隔熱板，所述的耐高溫隔熱轉(zhuǎn)接密封接頭設(shè)置在加熱基座主體上。本發(fā)明全封閉式云母加熱基座通過控制兩片云母片內(nèi)部的刻蝕成型的多區(qū)控溫的加熱絲產(chǎn)生熱量的分布，并通過熱量的傳導使加熱基座工作面均勻發(fā)熱，從面實現(xiàn)對表面放置晶圓和聚酰亞胺靜電卡盤加熱的功能。?? |
