具有高溫加熱功能的晶圓傳輸裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022199641.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213150746U | 公開（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請公布號 | CN213150746U | 申請公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號 | H01L21/677(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 賈昆良 | 申請（專利權）人 | 江蘇先鋒精密科技股份有限公司 |
| 代理機構 | 靖江市靖泰專利事務所（普通合伙） | 代理人 | 陳秀蘭 |
| 地址 | 214500江蘇省泰州市靖江市城南園區(qū)德裕路8號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種具有高溫加熱功能的晶圓傳輸裝置,包括鋁合金底座、鈦合金連接件，所述鋁合金底座C面連接端通過螺釘連接有鈦合金連接件，鋁合金底座D面鎧裝加熱管安裝槽內嵌設有鎧裝加熱管，鎧裝加熱管延長端設置有冷端接線帽，冷端接線帽卡設在鈦合金連接件的加熱管定位板上；所述鎧裝加熱管上另一個冷端接線帽上連接有真空大氣轉接件，所述真空大氣轉接件上轉接孔與導線連接處設置有環(huán)氧樹脂密封膠。本實用新型結構簡單，重量輕，安裝拆卸方便快捷，性能可靠，延長了鋁合金底的使用壽命，提供了穩(wěn)定的晶圓溫度，大幅度減少晶圓在工藝腔內加熱器上的升溫時間，有效提高了生產效率，大幅度降低了生產成本。?? |
