PECVD晶圓加熱用保護(hù)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022199614.0 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN213507190U 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號(hào) CN213507190U 申請公布日 2021-06-22
分類號(hào) C23C16/46（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 賈昆良 申請（專利權(quán)）人 江蘇先鋒精密科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 靖江市靖泰專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳秀蘭
地址 214500江蘇省泰州市靖江市城南園區(qū)德裕路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種PECVD晶圓加熱用保護(hù)裝置，設(shè)置于晶圓加熱器表面；特點(diǎn)是包括保護(hù)裝置主體，保護(hù)裝置主體的上表面設(shè)置有陽極氧化膜；保護(hù)裝置主體與晶圓加熱器之間通過固定螺絲相連接固定，固定螺絲的頂部設(shè)置有絕緣蓋，絕緣蓋與固定螺絲外端相配合連接；優(yōu)點(diǎn)是在工藝過程中晶圓加熱器表面不會(huì)受到損傷，只需及時(shí)更換低成本的表面防護(hù)裝置既可以繼續(xù)生產(chǎn)，大大降低了維修成本，簡化了原先需要拆卸晶圓加熱器的復(fù)雜過程。