晶圓傳輸裝置及底座的加工方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011062065.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112157407A | 公開（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112157407A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-01 |
| 分類號(hào) | B23P15/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分類 | 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工; |
| 發(fā)明人 | 賈昆良 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇先鋒精密科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 靖江市靖泰專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 靖江先鋒半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 214500江蘇省泰州市靖江市城南園區(qū)德裕路8號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓傳輸裝置及底座的加工方法,包括底座、鈦合金連接件，所述底座C面連接端通過螺釘連接有鈦合金連接件，底座D面鎧裝加熱管安裝槽內(nèi)嵌設(shè)有鎧裝加熱管，鎧裝加熱管延長(zhǎng)端設(shè)置有冷端接線帽，冷端接線帽卡設(shè)在鈦合金連接件的加熱管定位板上；所述鎧裝加熱管上另一個(gè)冷端接線帽上連接有真空大氣轉(zhuǎn)接件，所述真空大氣轉(zhuǎn)接件上轉(zhuǎn)接孔與導(dǎo)線連接處設(shè)置有環(huán)氧樹脂密封膠。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，重量輕，安裝拆卸方便快捷，性能可靠，延長(zhǎng)了底座的使用壽命，提供了穩(wěn)定的晶圓溫度，大幅度減少晶圓在工藝腔內(nèi)加熱器上的升溫時(shí)間，有效提高了生產(chǎn)效率，大幅度降低了生產(chǎn)成本。?? |
