多探針測試組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620060253.2 申請日 -
公開（公告）號 CN205450046U 公開（公告）日 2016-08-10
申請公布號 CN205450046U 申請公布日 2016-08-10
分類號 G01R1/073(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 謝曉東 申請（專利權(quán)）人 紹興科盛電子有限公司
代理機構(gòu) 紹興市越興專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 紹興科盛電子有限公司;浙江明德微電子股份有限公司
地址 312000 浙江省紹興市紹興經(jīng)濟開發(fā)區(qū)舜江路683號科創(chuàng)大廈23樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用于晶圓芯片的自動化測試組件，尤其是多探針測試組件，包括安裝座和固定于安裝座上的探針盤，陣列探針固定于探針盤上，陣列探針通過導(dǎo)線與測試儀器實現(xiàn)電連接。本實用新型將安裝座固定在全自動探針臺的機械臂上，測試臺上放置被測試晶圓片，陣列探針與晶圓片上的芯片單元接觸，在多個測試儀器同時發(fā)出的測試信號作用下，可一次性完成多個芯片單元的電性能測試，大大提高了測試效率，降低了測試成本。