膜片型光纖法珀腔傳感器制備裝置、傳感器制備方法以及膜片型光纖法珀腔傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910515997.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110243533A 公開（公告）日 2019-09-17
申請公布號 CN110243533A 申請公布日 2019-09-17
分類號 G01L11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 喻樂;王愛清;張樹寧;郭書辰 申請（專利權(quán)）人 北京知覺科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華進京聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王賽
地址 100085 北京市海淀區(qū)上地三街9號D座2層D312
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種膜片型光纖法珀腔傳感器制備裝置、傳感器制備方法以及膜片型光纖法珀腔傳感器，所述系統(tǒng)包括腐蝕部件、可升降夾具、控制部件、壓力艙、加壓部件、壓力測量部件和腔長測量部件；所述腐蝕部件內(nèi)盛裝腐蝕液，用于減薄膜片型光纖法珀腔傳感器預(yù)制體的膜片厚度；所述可升降夾具用于固定所述膜片型光纖法珀腔傳感器預(yù)制體；所述控制部件用于控制所述可升降夾具的升降，所述壓力艙為密閉空間，所述腐蝕部件和所述可升降夾具均置于所述壓力艙內(nèi)，所述加壓部件與所述壓力艙連接，所述壓力測量部件用于測量所述壓力艙內(nèi)的氣壓大??；所述腔長測量部件用于測量所述膜片型光纖法珀腔傳感器預(yù)制體的實時腔長。