一種圓筒形晶體退火爐
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922128006.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211142240U | 公開（公告）日 | 2020-07-31 |
| 申請公布號(hào) | CN211142240U | 申請公布日 | 2020-07-31 |
| 分類號(hào) | C30B33/02(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 高佑君;樊海強(qiáng);柴曉磊 | 申請（專利權(quán)）人 | 山西中科晶電信息材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 山西中科晶電信息材料有限公司 |
| 地址 | 043604山西省運(yùn)城市絳縣開發(fā)區(qū)陳村（山西沖壓廠西50米） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及晶體制備領(lǐng)域，更具體而言，涉及一種圓筒形晶體退火爐；提供一種采用多溫度點(diǎn)監(jiān)控、多加熱器獨(dú)立控制的圓筒形晶體退火爐，減小退火爐內(nèi)溫度梯度，實(shí)現(xiàn)對爐內(nèi)溫度的精準(zhǔn)控制；包括爐身、爐蓋、坩堝架、加熱結(jié)構(gòu)、保溫結(jié)構(gòu)、溫控系統(tǒng)和用于支撐并驅(qū)動(dòng)坩堝架伸出爐外的提升結(jié)構(gòu)；加熱結(jié)構(gòu)包括若干獨(dú)立控制的加熱器，保溫系統(tǒng)包括分別設(shè)置于加熱爐絲內(nèi)、外側(cè)的內(nèi)層保溫結(jié)構(gòu)和外層保溫結(jié)構(gòu)，溫控系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)處置設(shè)備和設(shè)置于退火爐內(nèi)的若干溫度傳感器，數(shù)據(jù)處理設(shè)備根據(jù)溫度傳感器傳回的數(shù)據(jù)控制分布在退火爐內(nèi)的加熱器進(jìn)行加熱，使得爐溫各測溫點(diǎn)溫度趨于設(shè)定值。?? |
