一種用于單晶生長的升降裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922127978.5 申請日 -
公開（公告）號 CN211057278U 公開（公告）日 2020-07-21
申請公布號 CN211057278U 申請公布日 2020-07-21
分類號 C30B35/00(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 柴曉磊;梁李虎;李斌 申請（專利權）人 山西中科晶電信息材料有限公司
代理機構 北京志霖恒遠知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 山西中科晶電信息材料有限公司
地址 043604山西省運城市絳縣開發(fā)區(qū)陳村（山西沖壓廠西50米）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種用于單晶生長的升降裝置，提供一種采用新型支撐結構和控制單元、能夠準確平穩(wěn)地完成規(guī)定行程，同時能夠自動停止的用于單晶生長的升降裝置；該裝置包括底座、升降機構、晶體支撐機構和控制機構，底座包括底座主體和可調節(jié)地腳支撐；升降機構包括電機、換向結構、升降臺和螺桿螺套，電機通過換向結構驅動螺桿轉動，通過固定在升降臺上的螺套使得升降臺實現(xiàn)上、下運動；晶體支撐機構包括晶體支撐平臺和可調節(jié)支撐柱，通過可調節(jié)支撐柱調節(jié)晶體支撐平臺的水平；控制機構包括角度傳感器、限位結構、計數(shù)表、轉速表和編碼器；本實用新型用于半導體單晶生長領域。??