一種解決晶圓測(cè)試中共襯底的情況下不能多site并測(cè)的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011081499.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112201588B 公開(kāi)（公告）日 2021-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN112201588B 申請(qǐng)公布日 2021-08-17
分類(lèi)號(hào) H01L21/66（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 嚴(yán)六平 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 南京宏泰半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京北辰聯(lián)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王真
地址 210000江蘇省南京市浦口區(qū)浦濱大道320號(hào)科創(chuàng)廣場(chǎng)科創(chuàng)總部大廈B座24樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種解決晶圓測(cè)試中共襯底的情況下不能多site并測(cè)的方法，涉及半導(dǎo)體測(cè)試應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域；本發(fā)明在對(duì)不會(huì)產(chǎn)生影響的項(xiàng)目進(jìn)行測(cè)試時(shí)，維持原先的多site并測(cè)方法；隨后進(jìn)入有影響的測(cè)試項(xiàng)目，從一個(gè)起始電平開(kāi)始進(jìn)行掃描cell狀態(tài)翻轉(zhuǎn)點(diǎn)，判斷目前的掃描電平和起始電平的電壓差是否已大于狀態(tài)翻轉(zhuǎn)造成的最大電壓抖動(dòng)值；如果已經(jīng)大于最大電壓抖動(dòng)值，則開(kāi)始啟動(dòng)下一個(gè)site的掃描工作；否則就判斷當(dāng)前cell的狀態(tài)是否已經(jīng)翻轉(zhuǎn)，如果已經(jīng)翻轉(zhuǎn)則記錄下此時(shí)的翻轉(zhuǎn)電平，并停止此cell的掃描；如果cell未狀態(tài)翻轉(zhuǎn)，增加一個(gè)步長(zhǎng)的掃描電壓，進(jìn)行下一輪的掃描；在后面的測(cè)試項(xiàng)目中，繼續(xù)維持原先的多site并測(cè)方法，完成整個(gè)測(cè)試項(xiàng)目。