一種化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911403893.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113122144A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113122144A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類(lèi)號(hào) C09G1/02（2006.01）I 分類(lèi) 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 黃悅銳;姚穎;荊建芬;倪宇飛;馬健;楊俊雅;汪國(guó)豪;李恒;陸弘毅 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號(hào)1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光液，所述拋光液含有：研磨顆粒、金屬腐蝕抑制劑、絡(luò)合劑、氧化劑、非離子表面活性劑以及水，所述非離子表面活性劑為乙氧基化丁氧基化烷基醇。使用本發(fā)明中的化學(xué)機(jī)械拋光液在獲得較高TEOS（二氧化硅）和鉭的去除速率的同時(shí)，能有效地調(diào)節(jié)BD（低介電常數(shù)材料）和銅的去除速率，能滿(mǎn)足各種工藝條件下對(duì)材料去除的要求。