一種化學機械拋光液及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911409271.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113122146A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113122146A 申請公布日 2021-07-16
分類號 C09G1/02（2006.01）I;H01L21/768（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 馬健;荊建芬;姚穎;周靖宇;楊俊雅;黃悅銳;蔡鑫元;陸弘毅;王雨春 申請（專利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種化學機械拋光液，包括：復(fù)合研磨顆粒、氧化劑和水，其中，所述復(fù)合研磨顆粒為選自二氧化鈰、二氧化鈦、二氧化錳和三氧化二鋁中的兩種或多種金屬氧化物相互包覆的復(fù)合氧化物顆粒。本發(fā)明中的化學機械拋光液具有較高的含碳材料的去除速率，可用于含碳材料的化學機械拋光。