一種化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911329440.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113004802A 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN113004802A 申請公布日 2021-06-22
分類號 C09G1/02（2006.01）I;C23F3/06（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 郁夏盈;王晨;何華鋒;李星;史經(jīng)深 申請（專利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光液，包括：研磨顆粒、催化劑、穩(wěn)定劑、同時(shí)含有胺基糖和環(huán)醇結(jié)構(gòu)的腐蝕抑制劑、氧化劑、水和pH調(diào)節(jié)劑。本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械拋光液可以在保證高的鎢的拋光速率以及中等的氧化硅拋光速率的同時(shí)，降低鎢的靜態(tài)腐蝕速率，從而改善拋光后的金屬表面狀況，提高良率。