一種化學(xué)機械拋光液及其在銅拋光中的應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911402367.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113122143A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113122143A 申請公布日 2021-07-16
分類號 C09G1/02（2006.01）I;H01L21/308（2006.01）I;H01L21/321（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 姚穎;荊建芬;黃悅銳;倪宇飛;楊俊雅;馬健;周靖宇;李恒;汪國豪 申請（專利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學(xué)機械拋光液及其在銅拋光中的應(yīng)用，所述化學(xué)機械拋光液包括非離子表面活性劑、研磨顆粒和氧化劑。本發(fā)明旨在提供一種可用于需去除銅基材的多種應(yīng)用的化學(xué)機械拋光液，使用該化學(xué)機械拋光液可以在獲得滿足工藝要求的銅的去除速率的同時，降低拋光后銅表面粗糙度和銅表面污染物顆粒數(shù)，保證拋光后的銅表面質(zhì)量，能夠滿足各種工藝條件下對銅表面的要求。