一種化學(xué)機(jī)械拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911327408.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113004801A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113004801A 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) C09G1/02（2006.01）I;C23F3/04（2006.01）I;C23F11/14（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 郁夏盈;王晨;何華鋒;李星;史經(jīng)深;孫金濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安集微電子（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京大成律師事務(wù)所 代理人 李佳銘;王芳
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)碧波路889號(hào)1幢E座第1至第2層，以及第3層的部分區(qū)域
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種化學(xué)機(jī)械拋光液，包括：研磨顆粒、催化劑、穩(wěn)定劑、含有腺嘌呤有機(jī)酸結(jié)構(gòu)的腐蝕抑制劑、氧化劑、水和pH調(diào)節(jié)劑。不僅可以同時(shí)拋光金屬鎢、氧化硅，實(shí)現(xiàn)對(duì)鎢金屬保持較高的拋光速率、且對(duì)氧化硅保持中等的拋光速率、且高效抑制鎢金屬的靜態(tài)腐蝕，改善拋光后的金屬表面狀況。